【独家】英特尔爱尔兰 Fab 34 工厂首台 EUV 光刻机开机并产生 13.5nm 波长的光,助力 Intel4 工艺量产
2022-12-25 12:48:42 来源:指股网
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目前英特尔12代、13代处理器依然在使用Intel7工艺(原10nmSuperfin),而明年的MeteorLake将采用新一代的Intel4工艺(原7nm)。Intel4将会是Intel首个基于EUV极紫外光技术的FinFET工艺,每瓦性能可提升20%,而MeteorLake计划于今年第四季度流片,2023年出货。Intel4之后是Intel3,是最后一代基于FinFET的技术,每瓦性能可提升18%,此前计划2023年下半年开始生产。再往后是Intel20A工艺,届时英特尔也将会放弃FinFET技术,转向GAA路线,20A将采用两大突破性技术——PowerVia、RibbonFET,前者是Intel独创的供电技术,后者是基于GAA技术实现的新突破,预计2024年问世。2025年及之后的技术还在开发中,命名为Intel18A,会继续改进RibbonFET技术,同时会用上ASML下一代的高NAEUV光刻机,但量产时间不定。英特尔现宣布,其欧洲首台大容量EUV光刻机已经在爱尔兰Fab34工厂开机并成功产生了13.5nm波长的光源。今年早些时候,爱尔兰Fab34工厂引入了一台EUV光刻机,这是Intel4技术的关键推动力。英特尔表示,该系统由荷兰ASML制造,可以说是人类有史以来所建造出最复杂的机器。自新EUV光刻机交付以来,当地团队一直在进行安装和调试,并在本周迎来了一个重要时刻,Intel正式启动了EUV光刻机,25KW的激光器在一系列复杂的操作之后成功激发了13.5nm波长的EUV光源。这是Intel4技术量产道路上的一个重要里程碑,也是欧洲首次使用大容量EUV光刻机。据介绍,这套EUV系统由10万多个零件、3000根电缆、4万个螺栓和超过一英里的软管组成。在它到达莱克斯利普之后,当地团队一直在想办法产出第一束光,但这一过程非常复杂,因为它依赖于多种因素的错综复杂的技术,无论是光刻机本身还是整体设施系统的鉴定以及与公用事业的连接,都需要团队共同努力才能实现,甚至之前仅是建造厂商及准备设施就用了18个月。在这个过程中,有着超过100名ASML员工与承包商、英特尔工程师和技术人员团队一起合作搭建和调配,有望在接下来的一段时间里为Intel4技术做好量产准备。关于MeteorLake的一系列内容,可参见亚汇网此前报道。拓展阅读:《《《相关阅读
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